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      氣體管路五項測試流程

      氣體管路五項測試流程
      (一)保壓測試(Pressure Test)保壓儀,管道測試的壓力為設(shè)計壓力的1.15倍,保壓儀使用時間至少30分鐘,測量過程中壓力保持不變。
      (二)氦測漏(He Leak Test)氦檢儀,檢測不得低于10E-10CC。
      (三)粒子含量分析(Particle Analyzer)粒子計數(shù)器,被測氣體中0.1-0.3微米的顆粒總數(shù)≤35且連續(xù)測量至少3次全部達標。
      (四)氧含量分析(Oxygen Analyzer)氧濃分析儀,氧氣的含量應(yīng)≤100ppbv。
      (五)水含量分析(Moisture Analyzer)水分含量分析儀,氣體的流速低于設(shè)計的流速的10%且小于3m/s,水分應(yīng)該≤1ppbv。

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